集成电路的晶体管尺寸逐渐逼近光子和电子的极限，摩尔定律的延续即将走到尽头。发展纳米尺度器件制造的新技术迫在眉睫。如今，随着3D打印技术的发展，其特征尺寸逐渐逼近纳米级，使这种不受光源限制的增材制造技术成为潜在的破局者。然而，打印速度慢、制造环境复杂、材料种类受限以及结构自由度低等关键因素限制了这项技术的应用发展。传统的微纳尺度3D打印技术，依赖于实物喷嘴，其加工精度均由喷嘴决定，既无法实现更低至几纳米级的加工精度，也无法保证大规模的加工；以电子束和离子束的加工为例，虽然它们能够实现纳米尺度的精度，但无法实现大面积阵列的快速打印。在上海科技大学“小而精、高水平”的全新理念引导下，冯继成教授课题组发展了兼具高精度、高通量和多材料的纳米尺度3D打印技术——“法拉第3D打印”，寻求纳米尺度3D打印的全新突破。他们的最新进展以” Metal 3D nanoprinting with coupled fields”为题发表在国际期刊Nature Communications上(https://doi.org/10.1038/s41467-023-40577-3)。
上海科技大学物质学院2022级博士研究生刘柄言为本文第一作者，冯继成教授为通讯作者，上海科技大学为第一完成单位。该工作得到了上海科技大学物质学院和大科学中心的大力支持，以及国家自然基金委重大研究计划项目（92261102）的支持。
气溶胶与法拉第
区别于其他3D打印技术，法拉第3D打印所使用的结构构建单元来自于大气压环境下的气溶胶——一种悬浮在气体介质中的固态或液态颗粒所组成的气态分散系统（图1）。通俗来说，所谓气溶胶，就类似于我们日常生活中常见的“PM2.5”和“雾霾”，微米乃至纳米级别的小颗粒与承载它们的大气共同组成的系统，其中微粒与气体“如胶似漆，难分难舍”因此得名为“胶”，即通称为“气溶胶”。这种独特的气溶胶构建单元决定了法拉第3D打印在常温常压下即可进行，并且不需要任何液相添加剂，不引入任何污染和杂质。
图2：光/电的曙光：气溶胶“砖块”沿着电力线画笔描绘成三维纳米结构。
双层流与电力线
保证这些结构的稳定性和精确度十分具有挑战性。冯继成课题组采用电场和流场的协同作用，实现了构建三维纳米结构的“砖块”的均匀性和稳定性。具体来说，通过流场/电场耦合，过滤掉不带电荷和尺寸较大的“砖块”，而筛选出带有电荷且尺寸均匀“砖块”作为搭建三维结构的构建单元。在这个过程中，裹挟着金属纳米颗粒的气流将进入一个双层的流场区域（图3a）的上半部分，其下半部分为干净的、无纳米颗粒的惰性气体区域，上下两部分流场同时向箭头方向流动。与此同时，该区域存在一个垂直于流场的方向且指向下的聚焦于打印区域的电场。于是，在两个力场（流场和电场）的作用下，较轻的纳米颗粒（小于5 nm）能够克服流场带来的惯性，从而沿着电场线方向运动，构建成三维纳米结构；而在同等强度的电场力作用下，较重的纳米颗粒无法克服惯性，便继续沿着流场方向运动。由此，即可实现特定尺寸纳米颗粒的筛选，并在该过程中原位打印成复杂的纳米结构阵列。使用更小的颗粒，还容易逼近打印的极限尺度，该工作中已实现了线宽为14 nm的金属打印（图3k，l）。这里的流场会对带电纳米颗粒产生正面的拖曳力，使得其能沿着弯曲的电场线迁移，避免了在带电颗粒在真空中偏移弯曲电场线的问题。
图3：双层流与电力线的协作。电场线的空间构型决定了三维纳米结构的几何形状，通过纳米颗粒筛选可实现高精度、高通量和多材料的3D打印。
大道至简-化腐朽为神奇的伟力
图4：结构和材料多样的周期性阵列， 比例尺：5微米。
科学的突破离不开对身边日常事物的观察、而真理往往就蕴藏在我们身边。随处可见、触手可及的气溶胶也能构建出形状各异、秩序井然的三维纳米结构阵列（图4），实现了三维纳米制造“小而精”的突破，自然科学所展现的这种化腐朽为神奇的伟力，正是其魅力所在。其实，这项技术还远未达到极限。未来冯继成教授课题组将继续深化气溶胶“砖块”和“电力线画笔”的改进和探索，希望在未来能实现转移转化，以期将该打印机集成到半导体装配线中，从而加速晶圆级纳米特征尺寸的微凸块和互联的一次性打印，为极紫外（EUV）光刻提供现实的替代方案。
